Analysis of MEMS Based Accelerometer Sensor via COMSOL


ERTUĞRUL İ., AYGÜL E., YALÇINKAYA S., ÜLKİR O.

5th International Congress on Engineering, Architecture and Design, İstanbul, Türkiye, 21 - 22 Kasım 2019, cilt.5, ss.210-215

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası: 5
  • Basıldığı Şehir: İstanbul
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.210-215
  • Hakkari Üniversitesi Adresli: Evet